您好,歡迎來(lái)到秋山科技(東莞)有限公司!
Product center

在半導(dǎo)體晶圓與液晶基板的精密制造中,最終拋光面的質(zhì)量直接決定產(chǎn)品良率。然而,劃痕、研磨不均、霧度、滑移等微米級(jí)缺陷常因照明不足而被遺漏。山田光學(xué)(YAMADA-OPT)推出的YP系列高亮度光源裝置,以超越日光4倍的照度、極1致穩(wěn)定的光輸出和靈活的光源選擇,為精密表面檢測(cè)樹(shù)立了新的標(biāo)1桿。
YP系列所有型號(hào)均可在樣品表面實(shí)現(xiàn)400,000Lx以上的超高照度,這一數(shù)值相當(dāng)于太陽(yáng)光強(qiáng)度的4倍以上。在這種照明條件下,常規(guī)檢測(cè)中極易忽略的0.2μm級(jí)劃痕、CMP殘留、拋光不均等微觀瑕疵得以清晰呈現(xiàn)。尤其對(duì)于晶圓、ITO鍍層等高反射材料,高角度照明確保了光斑均勻、邊界銳利,顯著提升了缺陷識(shí)別的準(zhǔn)確率。
標(biāo)題中“穩(wěn)定輸出,精準(zhǔn)把控"的技術(shù)內(nèi)涵,體現(xiàn)在YP系列對(duì)光品質(zhì)的嚴(yán)苛管控上。其電源單元采用直流點(diǎn)燈方式,配合電壓或電流調(diào)節(jié)式光量調(diào)整,將綜合變動(dòng)率控制在1%MAX以內(nèi)——這意味著無(wú)論是輸入電壓波動(dòng)、環(huán)境溫度變化還是設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行產(chǎn)生的漂移,輸出照度始終保持高度一致。對(duì)于需要長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行的自動(dòng)化檢測(cè)產(chǎn)線,這種穩(wěn)定性是避免誤判、確保檢測(cè)結(jié)果可重復(fù)性的核心保障。
YP系列同時(shí)提供鹵素與LED兩種技術(shù)路線,滿足不同場(chǎng)景需求:
鹵素光源(YP-150I / YP-250I)
光學(xué)優(yōu)勢(shì):色溫3400K,顯色指數(shù)接近Ra>95,光譜連續(xù)接近日光,真實(shí)還原表面紋理與色彩,避免LED藍(lán)光偏色導(dǎo)致的缺陷誤判。
關(guān)鍵型號(hào):YP-150I(照射徑30mmφ,距離140mm,配150W牛尾燈泡);YP-250I(照射徑40mmφ,距離220mm,配250W歐司朗燈泡)。
適用場(chǎng)景:對(duì)光譜連續(xù)性要求高的研發(fā)分析、抽檢,或已有鹵素系統(tǒng)配套的產(chǎn)線。
維護(hù)注意:鹵素?zé)襞輭勖s30-50小時(shí),需定期更換。
LED光源(YP-250IL)
革新優(yōu)勢(shì):保持與YP-250I同等光學(xué)性能(40mmφ光斑,≥400,000Lx照度),但LED壽命長(zhǎng)達(dá)10,000小時(shí),是鹵素?zé)襞莸臄?shù)百倍。這意味著設(shè)備生命周期內(nèi)幾乎無(wú)需更換光源,大幅降低維護(hù)成本與停機(jī)時(shí)間。
精準(zhǔn)調(diào)控:配套LPS-250電源采用電流調(diào)節(jié)式光量調(diào)整,光強(qiáng)調(diào)控比電壓調(diào)節(jié)式更為線性、平滑。
適用場(chǎng)景:需要長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行、追求零維護(hù)與高穩(wěn)定性的自動(dòng)化生產(chǎn)線終檢。
高照度往往伴隨高熱輻射,對(duì)硅片、OLED面板等熱敏感材料構(gòu)成風(fēng)險(xiǎn)。YP系列配備了冷鏡(二向色鏡)鍍膜技術(shù),可有效反射可見(jiàn)光并透射紅外熱輻射,將熱影響降至傳統(tǒng)鋁鏡的1/3,樣品表面溫升控制在2℃以內(nèi)。這一設(shè)計(jì)保障了檢測(cè)過(guò)程的安全性與準(zhǔn)確性,尤其適用于對(duì)熱變形敏感的精密元件檢查。
尺寸緊湊:YP-150I主機(jī)尺寸約102×351×128mm,重量2.65kg;YP-250IL優(yōu)化至107×229×114mm,節(jié)省機(jī)臺(tái)空間。
冷卻方式:強(qiáng)制風(fēng)扇空冷設(shè)計(jì),適應(yīng)0~40℃環(huán)境溫度。
全球通用:電源支持AC100~240V 50/60Hz寬幅輸入,適配不同地區(qū)電網(wǎng)。
山田光學(xué)YP系列以超高照度、極1致穩(wěn)定、靈活選擇為核心,精準(zhǔn)回應(yīng)了半導(dǎo)體與顯示面板行業(yè)對(duì)宏觀缺陷檢測(cè)的嚴(yán)苛要求。無(wú)論是追求傳統(tǒng)光學(xué)優(yōu)勢(shì)的鹵素型號(hào),還是擁抱免維護(hù)未來(lái)的LED型號(hào),YP系列都提供了一套從“看清"到“看準(zhǔn)"的完整照明方案。在0.2μm級(jí)的缺陷世界里,穩(wěn)定的光,就是良率的第一道防線。